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半導體晶圓劃片機加裝16萬轉氣浮主軸ABT-1600
日期：2025-08-31 12:33
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摘要：<p>
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半導體晶圓研磨/切割，用ABT-1000氣浮主軸<br />
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氣動主軸，外徑40mm，功率88W，在10萬轉的高速旋轉下也能保持1μm的跳動振動。目前在半導體晶圓切割、倒角等高精密加工。#氣浮主軸#晶圓研磨#晶圓切割#高精密主軸
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半導體晶圓研磨/切割，用ABT-1000氣浮主軸
氣動主軸，外徑40mm，功率88W，在10萬轉的高速旋轉下也能保持1μm的跳動振動。目前在半導體晶圓切割、倒角等高精密加工。#氣浮主軸#晶圓研磨#晶圓切割#高精密主軸
